Advanced MEMS Inspection by Direct and Indirect Solution Strategies
Autor: | Ryszard J. Pryputniewicz |
---|---|
Rok vydání: | 2012 |
Předmět: | |
Zdroj: | Optical Imaging and Metrology: Advanced Technologies |
DOI: | 10.1002/9783527648443.ch14 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |