Deep Levels in n-Type Si substrates Subjected to Ion Cleaning
Autor: | S. S. Simeonov, A. L. Guerassimov, E. I. Kafedjiiska |
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Rok vydání: | 1990 |
Předmět: | |
Zdroj: | physica status solidi (a). 122:K147-K150 |
ISSN: | 1521-396X 0031-8965 |
DOI: | 10.1002/pssa.2211220253 |
Popis: | Les niveaux profonds aux complexes de lacunes donneuses sont des centres de generation-recombinaison. L'influence observee du bombardement des substrats de Si, avec des ions Ar de 1 keV, s'explique par la generation de tels niveaux profonds dans les substrats de Si durant le bombardement |
Databáze: | OpenAIRE |
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