Deep Levels in n-Type Si substrates Subjected to Ion Cleaning

Autor: S. S. Simeonov, A. L. Guerassimov, E. I. Kafedjiiska
Rok vydání: 1990
Předmět:
Zdroj: physica status solidi (a). 122:K147-K150
ISSN: 1521-396X
0031-8965
DOI: 10.1002/pssa.2211220253
Popis: Les niveaux profonds aux complexes de lacunes donneuses sont des centres de generation-recombinaison. L'influence observee du bombardement des substrats de Si, avec des ions Ar de 1 keV, s'explique par la generation de tels niveaux profonds dans les substrats de Si durant le bombardement
Databáze: OpenAIRE