30‐2: Top‐Gate Self‐Aligned InGaZnO TFTs with High PBTS Reliability by Employing Different H‐Incorporation Process
| Autor: | Chun Hsiung Fang, Yuan Chun Wu, Fang Mei Liu, Yun Long Jiang, Jang Soon Im, Yuan Jun Hsu, Po Yen Lu |
|---|---|
| Rok vydání: | 2019 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | SID Symposium Digest of Technical Papers. 50:418-421 |
| ISSN: | 2168-0159 0097-966X |
| DOI: | 10.1002/sdtp.12945 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|
Plný text