Autor:	Philip G. Rutberg, A. N. Bratsev, A. A. Safronov, V. E. Popov, B.M. Laskin, V.V. Shegolev, M. Caplan
Rok vydání:	2023
Zdroj:	Proceeding of Progress in Plasma Processing of Materials, 2001.
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::950967a834b32d9de3d296c4e3bf78de https://doi.org/10.1615/itppc-2000.980 Zobrazit plný text záznamu