Controlling the Wet-Etch Directionality in Nanostructured Silicon

Autor:	Zainul Aabdin, Tanmay Ghosh, Antoine Pacco, Sanoj Raj, Hue Thi Bich Do, Khakimjon Saidov, Tjiu Weng Weei, Utkarsh Anand, Petr Král, Frank Holsteyns, Michel Bosman, Utkur Mirsaidov
Rok vydání:	2022
Předmět:	Materials Chemistry Electrochemistry Electronic Optical and Magnetic Materials
Zdroj:	ACS Applied Electronic Materials. 4:5191-5198
ISSN:	2637-6113
DOI:	10.1021/acsaelm.2c00824
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::944a281badab81af539bcd02f1d4ed87 https://doi.org/10.1021/acsaelm.2c00824 Zobrazit plný text záznamu