Feedforward compensation control of X-Y precise positioning table using inversed-sensitive function
Autor: | 崔晶 Cui Jing, 王迪凡 Wang Di-Fan |
---|---|
Rok vydání: | 2015 |
Předmět: | |
Zdroj: | Optics and Precision Engineering. 23:1081-1087 |
ISSN: | 1004-924X |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |