On the Mechanism of the Smart Cut Layer Transfer in Relaxed SiGe Layers

Autor:	Phuong Nguyen, C. Aulnette, E. Guiot, K.K. Bourdelle, I. Cayrefourcq, C. Deguet, S. Sartori, A. Tauzin, C. Lagahe-Blanchard, A. Soubie
Rok vydání:	2006
Zdroj:	ECS Meeting Abstracts. :552-552
ISSN:	2151-2043
DOI:	10.1149/ma2005-01/12/552
Popis:	not Available.
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::9392471a517efaaee63c08a7b4e2abd4 https://doi.org/10.1149/ma2005-01/12/552 Zobrazit plný text záznamu