Deep levels in n-type si substrates treated in O2 plasma

Autor: S. Simeonov, E. I. Kafedjiiska, A. Szekeres
Rok vydání: 1993
Předmět:
Zdroj: Physica Status Solidi (a). 140:K25-K29
ISSN: 1521-396X
0031-8965
DOI: 10.1002/pssa.2211400134
Databáze: OpenAIRE
Externí odkaz: