Improved Silicon Surface Passivation by ALD Al 2 O 3 /SiO 2 Multilayers with In‐Situ Plasma Treatments

Autor:	Armin Richter, Hemangi Patel, Christian Reichel, Jan Benick, Stefan W. Glunz
Rok vydání:	2023
Předmět:	Mechanics of Materials Mechanical Engineering
Zdroj:	Advanced Materials Interfaces.
ISSN:	2196-7350
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::92ff815edd70e081eefd532955928c28 https://doi.org/10.1002/admi.202202469 Zobrazit plný text záznamu Plný text