Autor:	E. Bouyer, David W. Branston, Gunter Lins, Matthias Muller, J. Verleger, M. von Bradke
Rok vydání:	2023
Zdroj:	Proceeding of Progress in Plasma Processing of Materials, 2001.
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::92e99bb1ee08ccb1872672dd6ebdf831 https://doi.org/10.1615/itppc-2000.650 Zobrazit plný text záznamu