Structural Characteristics of Amorphous Er2O3 Films Grown on Si (001) by Reactive Evaporation

Autor:	Ze-Bo Fang
Rok vydání:	2008
Předmět:	Inorganic Chemistry Materials science Chemical engineering General Materials Science Evaporation (deposition) Amorphous solid
Zdroj:	Journal of Inorganic Materials. 23:357-360
ISSN:	1000-324X
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::9255872c0c7b9079d3b2ec800643532c https://doi.org/10.3724/sp.j.1077.2008.00357 Zobrazit plný text záznamu