Investigation of ion-implanted GaAs following electron-beam annealing

Autor:	M A Shahid, S Moffatt, N J Barrett, B J Sealy
Rok vydání:	2020
Předmět:	Materials science business.industry Electron beam annealing Optoelectronics business Ion
DOI:	10.1201/9781003069614-20
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::91fb76f7154d0a14888d002898e3688c https://doi.org/10.1201/9781003069614-20 Zobrazit plný text záznamu