Ion Synthesis of Silicon-on-Insulator Structures with a Lead-Silicate Insulating Layer

Autor:	E. Yu. Buchin, Yu. I. Denisenko
Rok vydání:	2021
Předmět:	Physics and Astronomy (miscellaneous)
Zdroj:	Technical Physics Letters. 47:696-699
ISSN:	1090-6533 1063-7850
DOI:	10.1134/s106378502107018x
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::9014d6e90c0e8afe0a33d944a32f3472 https://doi.org/10.1134/s106378502107018x Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu PDF Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.