Resistivity Lowering Limitations of Heavily Doped Polycrystalline Silicon

Autor:	Yasuo Wada, Shigeru Nishimatsu
Rok vydání:	1979
Předmět:	Polycrystalline silicon Materials science business.industry Electrical resistivity and conductivity Doping engineering Optoelectronics General Chemistry engineering.material business
Zdroj:	Denki Kagaku oyobi Kogyo Butsuri Kagaku. 47:118-123
ISSN:	2434-2556 0366-9297
DOI:	10.5796/kogyobutsurikagaku.47.118
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::8fe78f4f2061c1b35b6448fb299f1a16 https://doi.org/10.5796/kogyobutsurikagaku.47.118 Zobrazit plný text záznamu