Ion implantation and activation of aluminum in bulk 3C-SiC and 3C-SiC on Si

Autor:	F. Torregrosa, M. Canino, F. Li, F. Tamarri, B. Roux, S. Morata, F. La Via, M. Zielinski, R. Nipoti
Rok vydání:	2022
Předmět:	Mechanics of Materials Mechanical Engineering General Materials Science Condensed Matter Physics
Zdroj:	MRS Advances. 7:1347-1352
ISSN:	2059-8521
DOI:	10.1557/s43580-022-00403-2
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::8fcdbe83a853fce0e6a0bcc92c6d0580 https://doi.org/10.1557/s43580-022-00403-2 Zobrazit plný text záznamu Full text from SpringerLink