Design and Simulation of Vertical Bi-Directional Fringe Field Tuning of New Improved MEMS Accelerometer Using SOI Technology for Stress Compensation

Autor:	Manoj Kumar Dounkal, R. K. Bhan, Navin Kumar
Rok vydání:	2022
Předmět:	Electronic Optical and Magnetic Materials
Zdroj:	Silicon. 14:11587-11603
ISSN:	1876-9918 1876-990X
DOI:	10.1007/s12633-022-01853-x
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::8f7d8bcdd3c09ce307ee2ae308725ae6 https://doi.org/10.1007/s12633-022-01853-x Zobrazit plný text záznamu Full text from SpringerLink