Autor:	Takayuki Itou, Shinji Tarutani, Hidenori Takahashi, Hiroshi Tamaoki, Hideaki Tsubaki
Rok vydání:	2010
Předmět:	Materials science Polymers and Plastics Resist Extreme ultraviolet lithography Organic Chemistry Materials Chemistry Nanotechnology Sensitivity (control systems) Atomic physics
Zdroj:	Journal of Photopolymer Science and Technology. 23:693-698
ISSN:	1349-6336 0914-9244
DOI:	10.2494/photopolymer.23.693
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::8ef2fe21957bc324ac58b88dc881af1e https://doi.org/10.2494/photopolymer.23.693 Zobrazit plný text záznamu