Laser produced plasma light source for EUVL
Autor: | Igor V. Fomenkov, Alex I. Ershov, William N. Partlo, David W. Myers, Daniel Brown, Richard L. Sandstrom, Bruno La Fontaine, Alexander N. Bykanov, Georgiy O. Vaschenko, Oleh V. Khodykin, Norbert R. Böwering, Palash Das, Vladimir B. Fleurov, Kevin Zhang, Shailendra N. Srivastava, Imtiaz Ahmad, Chirag Rajyaguru, Silvia De Dea, Richard R. Hou, Wayne J. Dunstan, Peter Baumgart, Toshihiko Ishihara, Rod D. Simmons, Robert N. Jacques, Robert A. Bergstedt, David C. Brandt |
---|---|
Rok vydání: | 2011 |
Zdroj: | SPIE Proceedings. |
ISSN: | 0277-786X |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |