Modeling And Characterization Of Si/SiO/sub 2/ Interface Roughness

Autor:	Helms, Kan, Yamanaka, Heng-Chih Lin
Rok vydání:	1997
Předmět:	Materials science Interface (Java) Nanotechnology Surface finish Characterization (materials science)
Zdroj:	Symposium on VLSI Technology.
DOI:	10.1109/vlsit.1997.623686
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::8d224958451a6a3d21fc6346ab1d6a3c https://doi.org/10.1109/vlsit.1997.623686 Zobrazit plný text záznamu