Effect of Dry Oxidation and Thermal Annealing on AlN/GaN/AlN/Si (111) and Evaluation of its Electrical Characteristics
Autor: | Muhammad Syarifuddin Yahya, Zainuriah Hassan, Mohd Zaki Mohd Yusoff |
---|---|
Rok vydání: | 2021 |
Předmět: | |
Zdroj: | Makara Journal of Science. 25 |
ISSN: | 2356-0851 2339-1995 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |