TWO-CHANNEL WAKEUP SYSTEM EMPLOYING ALUMINUM NITRIDE BASED MEMS RESONANT ACCELEROMETERS FOR NEAR-ZERO POWER APPLICATIONS
Autor: | M.R. Satches, B. Barney, M.A. Delaney, B.A. Griffin, M. Wiwi, T. Pluym, S. Yen, R.W. Reger, A.I. Young |
---|---|
Rok vydání: | 2018 |
Předmět: | |
Zdroj: | 2018 Solid-State, Actuators, and Microsystems Workshop Technical Digest. |
DOI: | 10.31438/trf.hh2018.95 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |