Illumination Mode Conversion System Design Based on Micromirror Array in Lithography

Autor:	邢莎莎 Xing Shasha, 冉英华 Ran Yinghua, 江海波 Jiang Haibo, 邢廷文 Xing Tingwen
Rok vydání:	2015
Předmět:	Atomic and Molecular Physics and Optics Electronic Optical and Magnetic Materials
Zdroj:	Acta Optica Sinica. 35:1111002
ISSN:	0253-2239
DOI:	10.3788/aos201535.1111002
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::87fd9a2aff9c96b20496e0def1eb4f21 https://doi.org/10.3788/aos201535.1111002 Zobrazit plný text záznamu