20th Anniversary of Evactron® Plasma Cleaners for SEMs and FIBs

Autor:	Barbara Armbruster, Ewa Kosmowska, George Safar, Michael Cable, Ronald Vane
Rok vydání:	2019
Předmět:	Materials science Radiochemistry Plasma Instrumentation
Zdroj:	Microscopy and Microanalysis. 25:550-551
ISSN:	1435-8115 1431-9276
DOI:	10.1017/s1431927619003489
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::86ced3c80dac026d73af2a22c8bedba0 https://doi.org/10.1017/s1431927619003489 Zobrazit plný text záznamu