Enhanced electrical properties of 4H-SiC/Al2O3 heterojunction by PEALD in situ NH3-plasma passivation

Autor:	Li Zheng, Jianhao Huang, Feiqing Huang, Zhongyu Liu, Xinhong Cheng, Yuehui Yu
Rok vydání:	2022
Předmět:	General Materials Science General Chemistry
Zdroj:	Applied Physics A. 128
ISSN:	1432-0630 0947-8396
DOI:	10.1007/s00339-022-06039-1
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::86c61f2d2c6097c71b53a2819e1a57b8 https://doi.org/10.1007/s00339-022-06039-1 Zobrazit plný text záznamu Full text from SpringerLink