USING ELECTRON CYCLOTRON RESONANCE (ECR) SOURCE TO ETCH POLYIMIDE MOLDS FOR FABRICATION OF ELECTROPLATED MICROSTRUCTURES
| Autor: | Khalil Najafi, A. Selvakumar, W.H. Juan, S.W. Pang, Michael W. Putty |
|---|---|
| Rok vydání: | 1994 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | 1994 Solid-State, Actuators, and Microsystems Workshop Technical Digest. |
| DOI: | 10.31438/trf.hh1994.19 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|