Low-Coupling Hybrid Parallel-Serial-Kinematic Nanopositioner with Nonorthogonal Flexure: Nonlinear Design and Control

Autor: William S. Nagel, Sean B. Andersson, Garrett M. Clayton, Kam K. Leang
Rok vydání: 2022
Předmět:
Zdroj: IEEE/ASME Transactions on Mechatronics. 27:3683-3693
ISSN: 1941-014X
1083-4435
DOI: 10.1109/tmech.2021.3129445
Databáze: OpenAIRE