Performance Study of MEMS Piezoresistive Pressure Sensors at Elevated Temperatures

Autor:	Vinod Belwanshi, Sebin Philip, Anita Topkar
Rok vydání:	2022
Předmět:	Electrical and Electronic Engineering Instrumentation
Zdroj:	IEEE Sensors Journal. 22:9313-9320
ISSN:	2379-9153 1530-437X
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::8342ab3aaf68efde001d07b1094f8ebc https://doi.org/10.1109/jsen.2022.3164435 Zobrazit plný text záznamu