大数值孔径(NA=0.55)变倍率极紫外光刻投影物镜偏振像差高精度检测方法
Autor: | 李昂 Li Ang, 李艳秋 Li Yanqiu, 韦鹏志 Wei Pengzhi, 袁淼 Yuan Miao, 王成成 Wang Chengcheng |
---|---|
Rok vydání: | 2022 |
Předmět: | |
Zdroj: | Acta Optica Sinica. 42:2312001 |
ISSN: | 0253-2239 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |
Autor: | 李昂 Li Ang, 李艳秋 Li Yanqiu, 韦鹏志 Wei Pengzhi, 袁淼 Yuan Miao, 王成成 Wang Chengcheng |
---|---|
Rok vydání: | 2022 |
Předmět: | |
Zdroj: | Acta Optica Sinica. 42:2312001 |
ISSN: | 0253-2239 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |