New Antireflective Coating Materials Containing a Novel Chromophore for KrF Laser Lithography
Autor: | Dong Keun Han, Jeong-Lim Nam, Kwang-Duk Ahn, Jun Young Kim, Seong-Hyun Ha, Dae-Youp Lee |
---|---|
Rok vydání: | 2001 |
Předmět: | |
Zdroj: | Journal of Photopolymer Science and Technology. 14:475-480 |
ISSN: | 1349-6336 0914-9244 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |