Radiochemische untersuchungen zur diffusion von gold in silizium

Autor:	E. Haas, K. Raithel, J. Martin
Rok vydání:	1966
Předmět:	Materials science Diffusion Materials Chemistry Analytical chemistry Electrical and Electronic Engineering Condensed Matter Physics Electronic Optical and Magnetic Materials
Zdroj:	Solid-State Electronics. 9:83-84
ISSN:	0038-1101
DOI:	10.1016/0038-1101(66)90027-x
Popis:	Zusammenfassung Die Diffusion von Gold in Silizium wurde mittels Aktivierungsanalyse untersucht. Die erhaltenen Konzentrationsprofile weisen auf Goldabscheidungen in den Oberflachenschichten und in Kristallstorungen hin. Dies bestatigen die Vergleiche zwischen Atzbildern und Autoradiographien. Temperatur- und Zeitabhangigkeit der Golddiffusion wurden an Kristallen mittlerer Versetzungsdichte studiert.
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::82b0efec582fec17551d50579776e1cc https://doi.org/10.1016/0038-1101(66)90027-x Zobrazit plný text záznamu