Secondary electron emission of Al2O3 and MgO nanofilms fabricated by atomic layer deposition
Autor: | Xiangping Zhu, Dan Wang, Hui Wang, Rundong Zhou, Xiangxin Li, Yunfan Hong, Chuan Jin, Yonglin Wei, Chaopeng Luo, Wei Zhao |
---|---|
Rok vydání: | 2022 |
Předmět: | |
Zdroj: | Chinese Science Bulletin. 67:2811-2820 |
ISSN: | 0023-074X |
DOI: | 10.1360/tb-2022-0175 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |