Secondary electron emission of Al2O3 and MgO nanofilms fabricated by atomic layer deposition

Autor: Xiangping Zhu, Dan Wang, Hui Wang, Rundong Zhou, Xiangxin Li, Yunfan Hong, Chuan Jin, Yonglin Wei, Chaopeng Luo, Wei Zhao
Rok vydání: 2022
Předmět:
Zdroj: Chinese Science Bulletin. 67:2811-2820
ISSN: 0023-074X
DOI: 10.1360/tb-2022-0175
Databáze: OpenAIRE