Development of a Static-pressure Seal-type Vacuum Pin Chuck
Autor: | Shinsuke Matsui, Atsunobu Une, Prayoon Kunyoo, Masaaki Mochida, Kenichiro Yoshitomi |
---|---|
Rok vydání: | 2003 |
Předmět: | |
Zdroj: | Journal of the Japan Society for Precision Engineering. 69:798-802 |
ISSN: | 1882-675X 0912-0289 |
DOI: | 10.2493/jjspe.69.798 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |