Study of Dynamics in Metallic MEMS Cantilevers - Pull-In Voltage and Actuation Speed

Autor:	Yang, Xiaohui, Kästner, Philipp, Käkel, Eireen, Smolarczyk, Marek, Liu, Shujie, Li, Qingdang, Hillmer, Hartmut
Jazyk:	angličtina
Rok vydání:	2023
Předmět:	dynamics actuation speed non-linearity metallic material systems Geschwindigkeit Dynamik Metallischer Werkstoff MEMS Nichtlineares Phänomen pull-in voltage Elektrische Spannung MEMS cantilever
DOI:	10.17170/kobra-202302147492
Popis:	Gefördert durch den Publikationsfonds der Universität Kassel This research was funded by Deutscher Akademischer Austauschdienst (DAAD): DAAD STIBET Degree Completion Support 2022 (using corresponding author’s name but no number); Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG):(grant number: Nos Hi 763/21-1 and Hi 763/19-1); Deutsche Bundesstiftung Umwelt (DBU):(grant number: Nos. AZ23717, AZ20012/189, and AZ35501); and Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF):(grant number: Nos. 13N14517 and 13N15740).
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::7f0efc8d52fd00cf3d50e6ec0f3e27f9 Zobrazit plný text záznamu