Modelling analysis for design of microshutters with new electrode configuration
Autor: | Ming Ke, Alexander S. Kutyrev, Carl A. Kotecki, Kyowon Kim, Matthew A. Greenhouse, Meng-Ping Chang, Rainer Fettig, Regis P. Brekosky, Yongjie Hu |
---|---|
Rok vydání: | 2022 |
Předmět: | |
Zdroj: | Sensors and Actuators A: Physical. 343:113661 |
ISSN: | 0924-4247 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |