Chemical Vapor Deposition GeTe/Sb2Te3 Super-Lattice Phase Change Memory

Autor:	M. Tai, Norikatsu Takaura, T. Morikawa, M. Kitamura, M. Kinoshita, K. Akita, T. Ohyanagi
Rok vydání:	2013
Předmět:	Phase-change memory Materials science Condensed matter physics Lattice (order) Nanotechnology Chemical vapor deposition
Zdroj:	Extended Abstracts of the 2013 International Conference on Solid State Devices and Materials.
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::7e3ceaf6757a5c18c1227cf405b49a65 https://doi.org/10.7567/ssdm.2013.a-3-2 Zobrazit plný text záznamu