Direct‐Patterning ZnO Deposition by Atomic‐Layer Additive Manufacturing Using a Safe and Economical Precursor
Autor: | Sonja Stefanovic, Negar Gheshlaghi, David Zanders, Ivan Kundrata, Baolin Zhao, Maïssa K. S. Barr, Marcus Halik, Anjana Devi, Julien Bachmann |
---|---|
Rok vydání: | 2023 |
Předmět: | |
Zdroj: | Small. |
ISSN: | 1613-6829 1613-6810 |
DOI: | 10.1002/smll.202301774 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |