Autor:	B. Breidenstein, M. Carlet, S. Beblein, A. Krödel, Tobias Brögelmann, Kirsten Bobzin, Nathan Kruppe, D.C. Hoffmann
Rok vydání:	2021
Předmět:	Materials science Chip formation Nanotechnology High-power impulse magnetron sputtering Condensed Matter Physics Surfaces Coatings and Films
Zdroj:	Vakuum in Forschung und Praxis. 33:26-33
ISSN:	1522-2454 0947-076X
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::7d1ea1c9ea31bab32ac7dbba2704def0 https://doi.org/10.1002/vipr.202100765 Zobrazit plný text záznamu Plný text