Optimization of Titanium Nitride Film Synthesis: Correlations Between the Structure / Micro-Hardness and Deposition Conditions

Autor:	Mariana Pop, A. V. Pop, G. Negrea
Rok vydání:	2018
Předmět:	chemistry.chemical_compound Materials science chemistry Metallurgy Indentation hardness Deposition (chemistry) Titanium nitride
Zdroj:	Studia Universitatis Babeș-Bolyai Physica. 63:75-88
ISSN:	2065-9415 0258-8730
DOI:	10.24193/subbphys.2018.07
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::7c277c676144ab6f33bbec528d78b958 https://doi.org/10.24193/subbphys.2018.07 Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu PDF