Diagnosis and Cleaning of Carbon Contamination on SiO2 Thin Film

Autor:	Toshiyuki Fujimoto, Kenji Odaka, Akira Kurokawa, Isao Kojima, Yasushi Azuma
Rok vydání:	2009
Předmět:	Materials science Carbon contamination Standardization Nanotechnology Thin film
Zdroj:	Journal of Surface Analysis. 15:337-340
ISSN:	1347-8400 1341-1756
DOI:	10.1384/jsa.15.337
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::7be6e92b0eb6b1852ddca3aeb5537992 https://doi.org/10.1384/jsa.15.337 Zobrazit plný text záznamu