Electrical characteristics and reliability properties of metal-oxide-semiconductor field-effect transistors with ZrO2 gate dielectric
| Autor: | De-Cheng Hsu, Ming-Tsong Wang, Joseph Ya-min Lee, Pi-Chun Juan |
|---|---|
| Rok vydání: | 2007 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | Journal of Applied Physics. 101:094105 |
| ISSN: | 1089-7550 0021-8979 |
| DOI: | 10.1063/1.2723861 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|