C18 Polishing Pad Conditioning using a High Pressure Micro Jet Cleaning System

Autor:	Mikihiro Kato
Rok vydání:	2012
Předmět:	Jet (fluid) Materials science Polishing Composite material
Zdroj:	The Proceedings of The Manufacturing & Machine Tool Conference. :159-160
ISSN:	2424-3094
DOI:	10.1299/jsmemmt.2012.9.159
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::7b77820c3a779769bd82113419462079 https://doi.org/10.1299/jsmemmt.2012.9.159 Zobrazit plný text záznamu