Application of Micro Electrical Discharge Machining and Electrochemical Machining in Manufacturing of Micro‐Electromechanical Systems: A Review

Autor:	Cornel‐Cristian Enciu, Gabriela‐Marina Pârvu, Liviu‐Daniel Ghiculescu, Constantin Gheorghe Opran
Rok vydání:	2022
Předmět:	Polymers and Plastics Organic Chemistry Materials Chemistry Condensed Matter Physics
Zdroj:	Macromolecular Symposia. 404:2100449
ISSN:	1521-3900 1022-1360
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::7af447bb8fab517cb4705601580b1be9 https://doi.org/10.1002/masy.202100449 Zobrazit plný text záznamu Plný text