Top Electrode Engineering for Freedom in Design and Implementation of Ferroelectric Tunnel Junctions Based on Hf1–xZrxO2

Autor: Robin Athle, Anton E.O Persson, Andrea Troian, Mattias Borg
Rok vydání: 2022
Předmět:
Zdroj: ACS Applied Electronic Materials. 4:1002-1009
ISSN: 2637-6113
Databáze: OpenAIRE