Automatic nano-positioning system based on two-dimensional zero-reference gratings
Autor: | 陈宇航 Chen Yu-hang, 胡衍雷 Hu Yan-lei, 李家文 Li Jia-wen, 劳召欣 Lao Zhao-xin, 褚家如 Chu Jia-ru, 黄文浩 Huang Wen-hao |
---|---|
Rok vydání: | 2014 |
Předmět: | |
Zdroj: | Optics and Precision Engineering. 22:2444-2450 |
ISSN: | 1004-924X |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |