Alarm Activations Analysis for Performance Enhancement in a Semiconductor Facility
Autor: | Mohammed Al-kharaz, Bouchra Ananou, Mustapha Ouladsine, Michel Combal, Jacques Pinaton |
---|---|
Rok vydání: | 2022 |
Předmět: | |
Zdroj: | IFAC-PapersOnLine. 55:439-444 |
ISSN: | 2405-8963 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |