Alarm Activations Analysis for Performance Enhancement in a Semiconductor Facility

Autor: Mohammed Al-kharaz, Bouchra Ananou, Mustapha Ouladsine, Michel Combal, Jacques Pinaton
Rok vydání: 2022
Předmět:
Zdroj: IFAC-PapersOnLine. 55:439-444
ISSN: 2405-8963
Databáze: OpenAIRE