Attenuated Total Reflection Spectra of Nitrided SiO2/Si Structures
Autor: | V. B. Odzhaev, A. N. Pyatlitski, V. S. Prosolovich, N. S. Kovalchuk, Ya. A. Soloviev, D. V. Zhygulin, D. V. Shestovsky, Yu. N. Yankovski, D. I. Brinkevich |
---|---|
Rok vydání: | 2022 |
Předmět: | |
Zdroj: | Journal of Applied Spectroscopy. 89:665-670 |
ISSN: | 1573-8647 0021-9037 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |