Synthesis and Resist Sensitive Property of Iodine-Containing Materials using Extreme Ultraviolet (EUV) Exposure Tool

Autor:	Yutaro Iwashige, Hiroto Kudo, Kazumasa Okamoto, Takahiro Kozawa
Rok vydání:	2022
Předmět:	Polymers and Plastics Organic Chemistry Materials Chemistry
Zdroj:	Journal of Photopolymer Science and Technology. 35:41-47
ISSN:	1349-6336 0914-9244
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::7a33c09d03aa1197a9f6f2627b9f3be4 https://doi.org/10.2494/photopolymer.35.41 Zobrazit plný text záznamu