Effect of Al2o3 Thickness and Oxidant Precursors on the Interface Composition and Contamination in Al2o3/Gan Structures
| Autor: | Tarek Spelta, Eugenie Martinez, Marc Veillerot, Pedro Fernandes Paes Pinto Rocha, Laura Vauche, Bassem Salem, Bérangère Hyot |
|---|---|
| Rok vydání: | 2023 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | SSRN Electronic Journal. |
| ISSN: | 1556-5068 |
| DOI: | 10.2139/ssrn.4343374 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|