Characterization of epitaxial layers grown on 4H-SiC (0 0 0 −1) substrates
Autor: | Junhong Chen, Min Guan, Shangyu Yang, Siqi Zhao, Guoguo Yan, Zhanwei Shen, Wanshun Zhao, Lei Wang, Xingfang Liu, Guosheng Sun, Yiping Zeng |
---|---|
Rok vydání: | 2023 |
Předmět: | |
Zdroj: | Journal of Crystal Growth. 604:127048 |
ISSN: | 0022-0248 |
DOI: | 10.1016/j.jcrysgro.2022.127048 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |