芯片制造语境下的计算光刻技术
| Autor: | 施伟杰 Shi Weijie, 俞宗强 Yu Zongqiang, 蒋俊海 Jiang Junhai, 车永强 Che Yongqiang, 李思坤 Li Sikun |
|---|---|
| Rok vydání: | 2022 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | Laser & Optoelectronics Progress. 59:0922001 |
| ISSN: | 1006-4125 |
| DOI: | 10.3788/lop202259.0922001 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|